干 

                                                                                           法

                                                                                           刻

                                                                                           蚀

                                                                                          ICP刻蚀深刻Si、AlN
                                                                                          Si,PI
                                                                                          GaN,GaAs、SiNx、SiO2
                                                                                          RIE刻蚀Si、Si3N4、SiO2 、PI
                                                                                          GaN、ZnO、SiC、金属
                                                                                          IBE刻蚀(Al、Cu、Cr、Ni、Au……
                                                                                          干法去胶/打底膜


                                                                                           您当前的位置:首页 > 刻蚀工艺

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