RIE-24000反应离子刻蚀机(带Load_Lock装置)

                                                                                               本设备采用PLC控制,触摸显示屏操作。其数字化?#38382;?#30028;面和自动化操作方式为用户提供了优良的研发和生产平台。

                                                                                          本设备通过对真空系统、下游压力闭环控制、射频电源、气体流量及工艺过程的全自动控制,以及所具有的安全互锁、智能监控、在线状态记忆、?#31995;?#20445;护等功能。使设备的安全性、重复性、稳定性、可靠性得到有效保证。

                                                                                          产品主要性能指标:

                                                                                           

                                                                                          型号

                                                                                          RIE-24000

                                                                                          真空系统

                                                                                          进样室:机械泵系统;刻蚀室:分子泵机组

                                                                                          样品尺寸

                                                                                          500×400mm

                                                                                          刻蚀材料

                                                                                          SiO2Si3N4

                                                                                          刻蚀不均匀性

                                                                                          ≤ ±5%

                                                                                          自动化程度

                                                                                          真空系统、机械手送/取样片、下游压力闭环控制、射频电源、气体流量、工艺过程全自动控制。

                                                                                          人机界面

                                                                                          Windows环境、触摸屏操作

                                                                                          操作方式

                                                                                          全自动方式、非全自动方式

                                                                                          配套件选配

                                                                                          可选择进口件或国产件

                                                                                          /取样片方式

                                                                                          机械手自动送/取片

                                                                                           

                                                                                          本设备带有进/取样室、真空锁和机械手自动送/取样片装置。主要用于平板显示中玻璃基板上 (500×400mm)刻蚀SiO2,Si3N4?#21462;? ?
                                                                                          本网站由阿里云提供云计算及安全服务
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